东方晶源光刻机多少纳米？
东方晶源不造光刻机。东方晶源并不是造光刻机的企业，也不是使用光刻机工的企业。东方晶源是为芯片造工厂提供技术务的。比如东方晶源旗下电子束缺陷检测产品（EBI），应用电子束扫描技术对硅片表面进行高分辨率成像，以提高良品率。
比如（OPC）技术，可以对光刻程建模，优化工艺窗口，确保良品率。造关键尺寸检测设备（CD-SEM），通过电子束显微图像进行关键尺寸测量。
相关知识:东方晶源造光刻机吗？
东方晶源不造光刻机。东方晶源并不是造光刻机的企业，也不是使用光刻机工的企业。东方晶源是为芯片造工厂提供技术务的。比如东方晶源旗下电子束缺陷检测产品（EBI），应用电子束扫描技术对硅片表面进行高分辨率成像，以提高良品率。比如（OPC）技术，可以对光刻程建模，优化工艺窗口，确保良品率。
造关键尺寸检测设备（CD-SEM），通过电子束显微图像进行关键尺寸测量。
相关知识:东方晶源属于哪个上市公司？
东方集团。东方晶源微电子科技有限司由东方集团投资控股，并由美国归国创业团队创立的先进半导体司。司在美国硅谷设有分部，产品涵盖规模半导体产品设计及造等高端领域。司的务对象是世界的规模半导体设计、造和装备企业。
相关知识:东方晶源是哪个国家的？
东方晶源是内地从事半导体材料加工造的高科技司，司总部位于上海市，司成立于1998年，目前东方晶源是内地的半导体材料造司。
相关知识:东方晶源光刻机做到哪一步了？
东方晶源光刻机到了光源电子束检测这步。东方晶源就是们国产光刻机产业链当中的其中员，东方晶源所处的地带属于“缺陷检测”，属于光刻机配套设施中的重要环。唯v光刻机的司只有上海微电子，而像东方晶源、科益虹源、华卓精科等都是上海微电子的供应商。
而东方晶源的是对光刻机光源的缺陷检测。
